定位精度可达±4um,双向重复精度可达到±0.5um。
二维薄型直驱电控平移台
♦ 产品介绍
GCD-DTA-DK100M二维薄型直驱电控平移台是大恒光电开发的一款薄型的双轴、高精度直驱电控平移台。它的总厚度为45mm,行程范围为100×100mm。
♦ 产品特点
◊ 采用无刷直驱电机驱动,消除机械干扰点,并采用直接驱动技术避免背隙。
◊ 主体结构采用高硬度铝合金材料,导向机构采用精密交叉滚子轴承,满足高刚度以及线性度。
◊ 采用光栅尺闭环反馈,提高了产品的精度指标,定位精度可达±4um,双向重复精度可达到±0.5um。
◊ 线缆安装内置,产品整体更简洁美观。
◊ 中间安装板可拆除,整个平移台中心为中空,可适用于显微镜系统中,也可根据客户需求定制样品安装板。
♦ 参数规格
| 型号 | GCD-DTA-DK100M | |
| 机械特性 | 行程(mm) | 100*100 |
| 台面尺寸(mm) | 301*240 | |
| 厚度(mm) | 45 | |
| 主要材料 | 铝合金 | |
| 表面处理 | 阳极氧化黑 | |
| 自重(kg) | 7.6 | |
| 运动精度 | 光栅尺分辨率(nm) | 50 |
| 绝对精度(μm) | ±4 | |
| 双向重复精度(μm) | ±0.5 | |
| 最小移动增量(nm) | 100 | |
| 偏摆(") | ±20 | |
| 俯仰(") | ±20 | |
| 直线度/平面度(μm) | ±3 | |
| 正交性(") | 15 | |
| 最大速度(mm/s) | 200 | |
| 最大加速度(mm/s2) | 10 | |
| 水平承载(kg) | 5 | |
| 驱动特性 | 电机类型 | 无刷直驱电机 |
| 外置控制反馈 | 光栅尺全闭环 | |
| 限位开关 | 光电 | |
| 原点位置 | 中心位置 | |
| 推荐控制器 | GCD-050102M控制器 |
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该产品搭配大恒光电GCD-050102M二轴控制器及配套软件,可达到更优精度。其他直驱电控台系列产品可点击下方图片了解详情~
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