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二维薄型直驱电控平移台

定位精度可达±4um,双向重复精度可达到±0.5um。

二维薄型直驱电控平移台

♦ 产品介绍

GCD-DTA-DK100M二维薄型直驱电控平移台是大恒光电开发的一款薄型的双轴、高精度直驱电控平移台。它的总厚度为45mm,行程范围为100×100mm。

产品特点

◊ 采用无刷直驱电机驱动,消除机械干扰点,并采用直接驱动技术避免背隙。

◊ 主体结构采用高硬度铝合金材料,导向机构采用精密交叉滚子轴承,满足高刚度以及线性度。

◊ 采用光栅尺闭环反馈,提高了产品的精度指标,定位精度可达±4um,双向重复精度可达到±0.5um。

◊ 线缆安装内置,产品整体更简洁美观。

◊ 中间安装板可拆除,整个平移台中心为中空,可适用于显微镜系统中,也可根据客户需求定制样品安装板。

参数规格

型号 GCD-DTA-DK100M
机械特性 行程(mm) 100*100
台面尺寸(mm) 301*240
厚度(mm) 45
主要材料 铝合金
表面处理 阳极氧化黑
自重(kg) 7.6
运动精度 光栅尺分辨率(nm) 50
绝对精度(μm) ±4
双向重复精度(μm) ±0.5
最小移动增量(nm) 100
偏摆(") ±20
俯仰(") ±20
直线度/平面度(μm) ±3
正交性(") 15
最大速度(mm/s) 200
最大加速度(mm/s2 10
水平承载(kg) 5
驱动特性 电机类型 无刷直驱电机
外置控制反馈 光栅尺全闭环
限位开关 光电
原点位置 中心位置
推荐控制器 GCD-050102M控制器

   

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